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探針式輪廓儀/臺階儀

簡要描述:v測量功能:二維表面輪廓測量/可選三維測量v樣品視景:可選放大倍率

基礎信息

產品型號

廠商性質

代理商

更新時間

2024-10-22

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詳細介紹

v 測量功能:二維表面輪廓測量 /可選三維測量

v 樣品視景:可選放大倍率,1 to 4mm FOV

v 探針壓力:使用LIS 3 傳感器 115mg

v 低作用力:使用N-Lite+低作用力傳感器: 0.0315mg

v 探針曲率半徑可選范圍: 50nm25 um

v 高徑比(HAR)針尖: 10um x 2um200um x 20um   可按客戶要求定制針尖

v 樣品X/Y載物臺:

手動X-Y平移:100mm (4英寸)

機動X-Y平移:150mm (6 英寸)

v 樣品旋轉臺:手動,360° 旋轉    機動,360°旋轉

v 掃描長度范圍:55mm(2英寸)

v 每次掃描數據點:最多可達120.000數據點

v 樣品厚度:50mm(2英寸)

v 晶圓尺寸:200mm(8英寸)

v 臺階高度重現性:<4A1sigma1um臺階上

v 垂直范圍:1mm(0.039英寸)

v 垂直分辨率:1A (6.55um垂直范圍下)


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