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Nikon EX14C步進式光刻機

簡要描述:NikonEX14C1

基礎信息

產品型號

廠商性質

代理商

更新時間

2024-10-22

瀏覽次數

283
詳細介紹

Nikon EX14C

1.Nikon EX14C步進式光刻機

光源波長248nm

分辨率優于0.25µm

主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產線

廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域

2.產品詳情

主要技術指標

分辨率0.25µm

N.A.0.6

曝光光源248nm

倍率5:1

曝光現場22mm*22mm

對準精度

LSA:55nm

FIA:65nm

3.更多服務

提供中英文軟件及2"、4"、6"、8"設備硅片改造

常年提供所有備件、耗材



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