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噴涂膠機

簡要描述:v在噴涂法中,噴嘴將要涂抹的溶液噴在晶圓上

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更新時間

2024-10-22

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詳細介紹

v 在噴涂法中,噴嘴將要涂抹的溶液噴在晶圓上。經過優化后的晶圓上方噴嘴移動路徑可以實現在襯底上均勻的涂層。噴涂所用的液體通常粘度極低,以確保形成細小的液滴

v 噴涂法即使在凹凸圖形上也能形成均勻涂層,因此它是這種結構的方法。噴涂法還能噴涂方形的襯底

v 對起伏臺階幾微米到600微米以上的三維微結構加工

v 基板尺寸直徑為200 mm,方形邊長為 6inch


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